%0 Journal Article
%T 溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究
%A 邱成军
%A 刘红梅
%A 张辉军
%A 赵全亮
%A 孟丽娜
%A 曹茂盛
%J 材料工程
%P 24-27
%D 2007
%X 采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺,解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征.研究结果表明,采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀.在V型阀微驱动器整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足低功耗、小型化和批量生产的要求.
%K PZT薄膜
%K 溶胶-凝胶法
%K 各向异性刻蚀
%K 微驱动器
%K MEMS
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2007/V0/I8/24