%0 Journal Article
%T 水平震荡机械研磨对酸性镀铜微观结构的影响
%A 冯长杰
%A 杜楠
%A 王春霞
%A 何业东
%J 材料工程
%D 2011
%X 在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,玻璃球以不同频率在试样表面滚动-滑动形成机械研磨(MA)。利用SEM,XRD和AutoLab考察震荡频率对机械研磨增强镀层(MAEE)的微观结构、晶粒尺寸、沉积速率、孔隙率和在3.5%NaCl(质量分数)溶液中耐蚀性的影响。结果表明,与传统镀层(TEP)相比,水平震荡MA可显著减小TEP镀层的晶粒尺寸和孔隙率,显著提高TEP镀层的耐蚀性。在1.0~4.0Hz范围内,改变频率对MAEE镀层晶粒细化的影响不明显,当震荡频率为2.0Hz和3.0Hz时,由于MA的不均匀性,使MAEE镀层的性能下降,但仍明显优于TCP镀层。讨论了水平震荡频率对MAEE微观结构的影响机理。
%K 机械研磨
%K 电沉积
%K 铜镀层
%K 水平震荡
%K 结构
%K 耐蚀性
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2011/V0/I6/81