%0 Journal Article
%T 冷坩埚原理及其在多晶硅制备中的应用
%A 黄锋
%A 陈瑞润
%A 郭景杰
%A 丁宏升
%A 杨劼人
%A 苏彦庆
%A 傅恒志
%J 材料工程
%P 90-96
%D 2011
%X 综述了冷坩埚技术的原理、特点与技术要求,重点介绍了电磁冷坩埚技术的工艺性能与影响因素,总结了各因素对冷坩埚性能的影响规律,最后概述了冷坩埚技术在多晶硅提纯与成型制备中的优势和应用,并展望了其未来的发展。
%K 冷坩埚
%K 电磁感应
%K 多晶硅
%K 提纯
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2011/V0/I7/90