%0 Journal Article
%T 沉积时间对ZrTiN涂层微观结构及性能的影响
%A 颜培
%A 邓建新
%A 连云崧
%A 赵军
%A 陈振
%J 材料工程
%P 30-34
%D 2012
%X 采用多弧离子镀膜法，在YT15及YG8硬质合金基体上沉积ZrTiN硬质涂层，并分析涂层微观形貌、物相组成、涂层的厚度、硬度及结合力等性能参数随沉积时间的变化。结果表明沉积时间不会影响ZrTiN涂层的晶面指数，涂层中只有单一面心立方结构相形成，且晶面指数始终为(111)；涂层的晶粒尺寸约为10nm且随沉积时间变化不大。沉积时间为120min时，涂层的显微硬度和结合力明显下降。
%K ZrTiN涂层
%K 多弧离子镀
%K 沉积时间
%K 微观结构
%K 性能
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2012/V0/I5/30