%0 Journal Article
%T Ti6Al4V表面磁控溅射高硬SiC薄膜的摩擦磨损性能
%A 潘应晖
%A 许晓静
%J 材料工程
%P 63-66
%D 2013
%R 10.3969/j.issn.1001-4381.2013.06.013
%X 采用室温磁控溅射技术在Ti6Al4V表面制备出高硬SiC薄膜,对其组织结构、纳米压痕行为和摩擦磨损性能进行了研究。结果表明实验制备的SiC薄膜呈非晶态,其纳米硬度、弹性模量分别为26.8GPa和229.4GPa;在以氮化硅球(半径为2mm)为对摩件的室温Kokubo人体模拟体液下,其磨损速率在10-5mm3m-1N-1级,载荷低(50g)时摩擦因数约为0.173,载荷高(200g)时摩擦因数约为0.280,此时薄膜自身发生局部破裂。
%K 钛基材
%K 薄膜
%K 纳米压痕
%K 摩擦磨损
%K 磁控溅射
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/10.3969/j.issn.1001-4381.2013.06.013