%0 Journal Article
%T PET衬底上ITO薄膜的制备及光电性能
%A 杨坤
%A 胡志强
%A 徐书林
%A 王海权
%A 于洋
%A 刘贵山
%A 姜妍彦
%A 张海涛
%J 材料工程
%P 71-76
%D 2014
%R 10.3969/j.issn.1001-4381.2014.03.013
%X 用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）上制备了氧化铟锡（ITO）透明导电薄膜，研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响，并采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）对薄膜的物相结构与表面形貌进行了分析。结果表明薄膜的平均晶粒尺寸随衬底温度的升高而增大；当溅射时间增加时，方块电阻与光透过率均减小；当衬底温度升高时，方块电阻减小，可见光透过率增大。
%K 脉冲磁控溅射
%K 氧化铟锡薄膜
%K PET
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/10.3969/j.issn.1001-4381.2014.03.013