%0 Journal Article
%T 层厚比对磁控溅射Cr/CrN多层涂层组织和性能的影响
%A 谈淑咏
%A 吴湘君
%A 张旭海
%A 张炎
%A 蒋建清
%A 朱雪锋
%A 江先彪
%J 材料工程
%P 28-33
%D 2014
%R 10.11868/j.issn.1001-4381.2014.11.005
%X 在超高真空磁控溅射仪上,制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr/CrN涂层。用X射线衍射仪分析了涂层的相组成,通过扫描电镜观察了涂层形貌,采用显微硬度计测试了涂层硬度,在划痕仪上确定涂层和基体间的结合力,并利用磨损仪测量涂层的摩擦磨损性能。结果表明调制周期为400nm时,当层厚比由2.0减小到0.2,Cr/CrN多层涂层始终由Cr和CrN两相组成,涂层择优取向为CrN(200),且涂层变得愈加致密,硬度从1550HV增大到2300HV,磨损率从2.4×10-8mm3·N-1·m-1减小为0.6×10-8mm3·N-1·m-1,涂层和基体结合性能优良。
%K Cr/CrN多层涂层
%K 层厚比
%K 硬度
%K 磨损率
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/10.11868/j.issn.1001-4381.2014.11.005