%0 Journal Article
%T 非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜
%A 黑立富
%A 徐俊波
%A 陈良贤
%A 李成明
%A 吕反修
%J 材料工程
%P 92-96
%D 2012
%X 采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明,在调制周期为19.86nm时,纳米压痕硬度达到43GPa。利用三点弯曲法形成裂纹的扩展,并观察到了裂纹的偏转特征。
%K 纳米多层膜
%K 力学性能
%K 调制周期
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2012/V0/I7/92