%0 Journal Article
%T 提高溅射沉积MoS2膜耐磨性的途径及分析
%A 张晓玲
%A 胡奈赛
%A 何家文
%J 材料工程
%P 44-47
%D 1999
%X 分析了影响气相沉积MoS2膜摩擦学性能的因素,讨论了通过复合膜技术和膜的后处理技术改善MoS2膜性能的途径。
%K 固体润滑
%K 溅射沉积
%K MoS2膜
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y1999/V0/I10/44