%0 Journal Article
%T 溶胶-凝胶技术在氧化物薄膜制备方面的应用
%A 雅菁
%A 徐明霞
%A 徐廷献
%A 刘维跃
%J 材料工程
%P 21-23
%D 1996
%X 从溶胶制备、涂覆和热处理三个步骤介绍了溶胶-凝胶技术制备氧化物薄膜基本原理和工艺过程;对有关三个步骤的研究成果进行了综述。
%K 溶胶-凝胶
%K 氧化物薄膜
%K 旋转涂覆
%K 浸涂
%K 热喷涂
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y1996/V0/I5/21