%0 Journal Article
%T 多孔阳极氧化铝薄膜的制备
%A 魏剑
%A 李克智
%A 李贺军
%A 李正佳
%A 付前刚
%J 材料工程
%D 2005
%X 采用二次氧化的方法,在短时间内制备了多孔阳极氧化铝薄膜(AnodicAluminaMembrane,简称AAM),借助扫描电子显微镜(SEM),能谱分析(EDS)和X射线衍射(XRD)等测试手段分析了氧化铝膜的微观形貌和晶体结构,讨论了电解液温度波动和铝材表面缺陷对AAM表面形貌的影响.研究结果表明制备的多孔氧化铝薄膜是非晶态氧化铝,在其表面孔径为50～70nm的六边形孔洞分布均匀,且垂直于薄膜表面平行生长.氧化过程中,电解液温度的稳定有利于形成规则的孔洞阵列;通过电化学抛光预处理,可有效去除机械划痕,避免薄膜表面沟壑状形貌的形成,提高了孔洞分布的均匀性.
%K 阳极氧化铝
%K 薄膜
%K 孔洞阵列
%K 纳米材料
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2005/V0/I5/56