%0 Journal Article %T 磁控溅射制备掺银TiO2薄膜的光催化特性研究 %A 邱成军 %A 曹茂盛 %A 张辉军 %A 刘红梅 %A 田风军 %A 刘鑫 %J 材料工程 %D 2005 %X 利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响。并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用。 %K 薄膜 %K 锐钛矿相 %K 射频磁控溅射 %K 光催化活性 %U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2005/V0/I10/35