%0 Journal Article
%T 等离子CVD技术及其应用
%A 刘义
%J 材料工程
%P 36-38
%D 1990
%X 本文介绍了等离子CVD技术及其应用的新进展、等离子CVD是半导体的重要基础制造技术,特别适用于金属零件的表面处理。经等离子CVD技术处理后的零件表面,具有耐热、耐氧化、耐腐蚀和耐磨损等特点。
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y1990/V0/I5/36