%0 Journal Article
%T 微等离子体氧化法制备钛酸钡陶瓷膜
%A 姜兆华
%A 李文旭
%A 闫久春
%A 李益民
%J 材料工程
%P 34-37
%D 2002
%X 用微等离子体氧化法制备出纯相的BaTiO3陶瓷膜,对所得的陶瓷膜进行XRD和EPMA分析。结果表明,膜层中钡钛两种元素分布均匀,无浓度梯度变化。结合实验现象和测试结果,探讨了浓度和电流密度对陶瓷膜的影响,并提出了BaTiO3陶瓷膜成膜过程中的可能反应机制过程。
%K 微等离子体氧化
%K 相组成
%K 元素分布
%K 成膜过程
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2002/V0/I2/34