%0 Journal Article
%T PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展
%A 刘红梅
%A 邱成军
%A 曹茂盛
%J 材料工程
%P 37-40
%D 2004
%X 主要介绍在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法、制备过程中需要解决的问题、PZT薄膜与MEMS的集成以及PZT在MEMS中的应用的研究进展,并展望了PZT薄膜的应用前景。
%K PZT
%K 薄膜
%K MEMS
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2004/V0/I6/37