%0 Journal Article
%T n-C7H16/CCl4体系CVD-热解炭的形貌与形成机理
%A 李国荣
%A 黄永秋
%A 潘鼎
%J 材料工程
%D 2004
%X 控制CVD工艺条件得到球状热解炭,通过对沉积中间体的定性分析,证实了此过程中存在“缩聚机理”。运用热力学和晶体成核-长大理论,解释了温度对热解炭形貌和沉积过程的影响。
%K 热解炭
%K 化学气相沉积
%K 沉积机理
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2004/V0/I7/51