%0 Journal Article %T 高精度电涡流位移传感器 %A 龚海飞 %J 材料工程 %P 38-38 %D 2009 %X 德国米铱公司生产的电涡流位移传感器,主要用于油膜厚度的在线精密测量。此电涡流传感器主要包括控制器(DT3010-A,适用于非铁磁材料的测量,如铝材料)和传感器探头(U05,0.5mm量程,非屏蔽)。传感器的线性度达到1.25μm,静态分辨率达到0.025μm,频率响应为25kHz,可在-50~150℃的环境范围内使用,传感器独特的温度补偿技术可以大大减小由于温升带来的测量误差。高精度电涡流位移传感器@龚海飞 %U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2009/V0/I6/38