%0 Journal Article
%T TiN/Ti多层膜韧性对摩擦学性能的影响
%A 龚海飞
%A 邵天敏
%J 材料工程
%P 26-31
%D 2009
%X 考察了TiN/Ti多层膜韧性对其摩擦学性能的影响。采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同Ti子层厚度的TiN/Ti多层膜。用透射电镜对其层状结构及子层厚度进行了观察和分析,分别用Rockwell硬度计和UMT摩擦磨损试验机,进行了压痕测试和摩擦磨损实验。结果表明,TiN/Ti多层膜中Ti子层的加入显著提高了多层膜的韧性,相对TiN单层薄膜,当载荷较大时,多层膜的耐磨性有明显的改善。结合实验结果,讨论了TiN/Ti多层膜韧性对其耐磨性的影响。
%K TiN/Ti
%K 多层膜
%K 韧性
%K 摩擦学性能
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2009/V0/I10/26