%0 Journal Article
%T TiO2纳米孔到纳米管结构转变的因素及其机理研究
%A 李朋
%A 赵昆渝
%A 郭军
%A 张晓娟
%A 戴丹
%A 黄峰
%J 材料工程
%D 2014
%R 10.3969/j.issn.1001-4381.2014.01.011
%X 通过中频脉冲磁控溅射的方法，在玻璃基底上沉积得到了表面均匀性好、致密度高的钛薄膜。在NH4F/乙二醇+H2O电解液体系中对该钛膜进行电化学阳极氧化。结果表明30V恒电压下，当NH4F浓度从0.5%（质量分数，下同）增加到1%时，阳极氧化后形成的TiO2膜层逐渐从纳米孔结构转变成纳米管结构；当NH4F浓度低于0.75%时，随阳极氧化电压的增加，形成的TiO2膜层不会出现从纳米孔到纳米管结构的转变。
%K 钛膜
%K TiO2纳米孔
%K TiO2纳米管
%K 氟离子浓度
%K 阳极氧化电压
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/10.3969/j.issn.1001-4381.2014.01.011