%0 Journal Article
%T 用涡轮MOCVD制作突变异质结和量子阱的气路压强分布的研究3
%J 华南师范大学学报(自然科学版)
%D 1998
%R 10.6054/j.jscnun.1998.05.019
%U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract1606.shtml