%0 Journal Article
%T 检查集成电路光刻掩模的实时白光信息处理系统
%J 华南师范大学学报(自然科学版)
%D 1985
%R 10.6054/j.jscnun.1985.05.015
%U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract2320.shtml