%0 Journal Article
%T 三种聚酯型光敏树脂的合成及其光刻性能
%J 华南师范大学学报(自然科学版)
%D 1984
%R 10.6054/j.jscnun.1984.11.015
%U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract2381.shtml