%0 Journal Article
%T 等离子体辅助电子枪蒸发制备AlN薄膜及等离子体参数诊断
%J 华南师范大学学报(自然科学版)
%D 2006
%R 10.6054/j.jscnun.2006.05.011
%U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract740.shtml