%0 Journal Article
%T SiO2薄膜热应力模拟计算SimulationofThermalStressinSiO2ThinFilm
%J 华南师范大学学报(自然科学版)
%P 52-55
%D 2009
%R 10.6054/j.jscnun.2009.02.013
%K 热应力
%K SiO2薄膜
%K 有限元
%K 模拟
%U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract288.shtml