%0 Journal Article
%T 微波电子回旋共振等离子体放电特性研究STUDYONTHECHARACTERISTICSOFMICROWAVEECRPLASMADISCHARGE
%J 华南师范大学学报(自然科学版)
%P 48-52
%D 2009
%R 10.6054/j.jscnun.2009.05.012
%K ECR等离子体
%K 发射光谱
%K 空间分布
%K 朗缪尔双探针
%U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract338.shtml