%0 Journal Article
%T Si图形衬底的制备及半极性GaN生长STUDYOFANISOTROPICETCHINGOFSISUBSTRATE
%J 华南师范大学学报(自然科学版)
%P 0-0
%D 2010
%R 10.6054/j.jscnun.2010.11.011
%K KOH溶液
%K 各向异性腐蚀
%K 异丙醇
%K 超声波振动
%K 半极性GaN
%K 硅图形衬底
%U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract451.shtml