%0 Journal Article %T Si图形衬底的制备及半极性GaN生长STUDYOFANISOTROPICETCHINGOFSISUBSTRATE %J 华南师范大学学报(自然科学版) %P 0-0 %D 2010 %R 10.6054/j.jscnun.2010.11.011 %K KOH溶液 %K 各向异性腐蚀 %K 异丙醇 %K 超声波振动 %K 半极性GaN %K 硅图形衬底 %U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract451.shtml