%0 Journal Article
%T 硅基片上光互连技术SILICON-BASEDON-CHIPOPTICALINTERCONNECT
%J 华南师范大学学报(自然科学版)
%P 0-0
%D 2012
%K 硅光子学
%K 光互连
%K 异质集成
%K 低温键合
%U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract2661.shtml