%0 Journal Article
%T 光纤连接器端面的显微干涉测试系统
%A 李路
%A 王鸣
%J 南京师范大学学报(工程技术版)
%P 84-87
%D 2009
%X 介绍了一种基于显微干涉的光纤连接器端面的测试系统,干涉仪由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成,CCD相机采集干涉图样,经处理后得到相位分布图.采用Carre相位提取算法,无需进行特定步长的相移.对光纤连接器端面的表面形貌、曲率半径、顶点偏移进行测量,测量系统的横向分辨率可达到0.9μm,重复性测量精度为9.5nm.
%K 光纤连接器
%K 显微干涉
%K Mirau物镜
%K 相移干涉
%K 相位提取
%U http://njsfdxgckj.paperonce.org/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200901018