%0 Journal Article
%T 光纤微机电压力传感器的设计
%A 李明
%A 王鸣
%A 王婷婷
%A 聂守平
%J 南京师范大学学报(工程技术版)
%P 20-24
%D 2004
%X 设计了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤压力传感器,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里珀罗腔的理论模型进行解释.推导出光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜受到的压力与干涉光强的关系表达式.并且对光纤MEMS压力传感器的模型进行数值模拟,得到了传感器制作过程中涉及到的各个物理量的取值,其中腔体半径为300μm、腔体深度为2.42μm、硅横膈膜厚度为23μm.该设计为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础.
%K 集成光路
%K 光纤MEMS压力传感器
%K 数值模拟
%K 干涉光强
%U http://njsfdxgckj.paperonce.org/oa/DArticle.aspx?type=view&id=20040406