%0 Journal Article
%T 激光莫尔传感器在精密定位中的应用
%A 张金龙
%J 南京师范大学学报(工程技术版)
%P 35-37
%D 2004
%X 应用激光莫尔信号传感器设计了一套精密定位装置,可实现高精度位置检测及精密自动定位;系统采用的激光补偿技术及差动光栅技术,极大地提高了位置检测信号的灵敏度与定位精度.实验结果表明,精密定位装置可获得±01μm的定位精度,对集成电路制造技术等精密加工工程领域具有重要的实用价值
%K 莫尔传感器
%K 差动技术
%K 精密定位
%K 工业控制计算机
%U http://njsfdxgckj.paperonce.org/oa/DArticle.aspx?type=view&id=20040110