%0 Journal Article
%T 沉积温度影响有机太阳能电池阳极薄膜结晶性能
%A 钟志有
%A 顾锦华
%A 何翔
%A 孙奉娄
%J 中南民族大学学报(自然科学版)
%P 33-37
%D 2009
%X 采用射频磁控溅射工艺,以氧化锌铝（AZO）陶瓷靶作为靶材,通过优化工艺参数在玻璃基板上制备了具有c轴择优取向的AZO透明导电薄膜.基于X射线衍射（XRD）测试表征,研究了沉积温度对薄膜结晶性能的影响.实验结果表明：AZO薄膜的结晶性能与沉积温度密切相关,较低温度时,随着沉积温度的升高,薄膜的结晶性能得到提高,但是沉积温度进一步升高时却有所变差.当沉积温度为400℃时,AZO薄膜的结晶性能最佳,c轴取向良好,晶粒尺寸接近40 nm.
%K 有机太阳能电池
%K 阳极
%K 结晶性能
%U http://znzk.scuec.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20090499&flag=1