%0 Journal Article
%T APCVD法SiH_4-NH_3-CO_2系统制备氧氮玻璃薄膜的研究
%A 余京松
%A 钱晓倩
%A 马青松
%A 葛曼珍
%A 孟祥森
%A 杨辉
%J 硅酸盐学报
%D 1999
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=18077