%0 Journal Article
%T ZrO_2溅射膜的柱状生长机制
%A 夏风
%A 钱晓良
%A 刘石明
%A 杨欣
%A 刘光葵
%A 孙尧卿
%J 硅酸盐学报
%D 2001
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=17981