%0 Journal Article
%T 高频辉光放电法制备含氟无定形硅及其性质的研究
%A 丁宇权
%A 丁予上
%A 江仲华
%A 王秀芳
%J 硅酸盐学报
%D 1982
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=19412