%0 Journal Article
%T SiCl_4-GeCl_4-O_2系统的多相平衡和对于掺杂SiO_2的MCVD过程锗分布关系
%A 严一民
%A 郭祝崑
%A 张英华
%J 硅酸盐学报
%D 1984
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=19306