%0 Journal Article %T α-SiC∶H薄膜的热行为研究 %A 彭晓峰 %A 孟佳 %A 陈杰锋 %A 宋力昕 %A 胡行方 %J 硅酸盐学报 %D 2003 %U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=17307