%0 Journal Article
%T 工艺因素对低压化学气相沉积氮化硅薄膜的影响
%A 刘学建
%A 金承钰
%A 黄智勇
%A 蒲锡鹏
%A 黄莉萍
%J 硅酸盐学报
%D 2003
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=19918