%0 Journal Article
%T Al_2O_3掺量及氧气分压对直流磁控溅射法制备铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响
%A 余俊
%A 赵青南
%A 赵修建
%J 硅酸盐学报
%D 2004
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=20289