%0 Journal Article
%T 稀释气体对化学气相沉积SiC涂层生长行为的影响
%A 刘荣军
%A 张长瑞
%A 周新贵
%A 曹英斌
%A 刘晓阳
%J 硅酸盐学报
%D 2004
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=20389