%0 Journal Article
%T YG8衬底腐蚀处理对氮化碳薄膜摩擦学性能的影响
%A 刘军
%A 毕凯
%A 陈志刚
%A 唐利强
%J 硅酸盐学报
%D 2010
%X 采用直流与射频磁控反应溅射法在硬质合金YG8衬底上制备了氮化碳(carbonnitride,CNx)薄膜。研究了溅射方式、衬底腐蚀处理对薄膜摩擦学性能的影响。结果表明射频反应磁控溅射制备的CNx薄膜的膜基结合力和摩擦因数明显高于直流反应磁控溅射薄膜的,适当的负偏压可以提高膜基结合力。衬底化学腐蚀预处理能够大幅度提高CNx薄膜的膜基结合力,对直流溅射CNx薄膜的摩擦因数影响不大,但能降低射频溅射CNx薄膜的摩擦因数。射频反应磁控溅射法制备的CNx薄膜比直流溅射法制备的CNx薄膜耐磨性能好。衬底化学腐蚀预处理和溅射时对衬底施加适当的负偏压均有利于耐磨性能的提高。
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=16954