%0 Journal Article
%T 溶胶–凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性
%A 沈军
%A 刘源
%A 李晓光
%J 硅酸盐学报
%D 2010
%X 采用溶胶–凝胶法制备了用于高功率激光装置的SiO2减反射膜，并在室温条件下采用气相法对该薄膜进行表面修饰。结果表明修饰后薄膜的疏水性能、激光损伤阈值均有明显提高；其在大气环境下的耐候性与普通薄膜相当，但对有机污染物的抗性明显提高；经六甲基二硅胺烷修饰、氨气氛及热处理后的薄膜表现出对有机烷类良好的抗污染性能。
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=34222