%0 Journal Article %T 四甲基氢氧化铵应用于单晶硅高效制绒 %A 吴文娟 %A 张松 %A 张立元 %A 覃榆森 %A 季静佳 %A 顾晓峰 %A 李果华 %J 硅酸盐学报 %D 2011 %X 以十二烷基硫酸钠(sodiumdodecylsulfate,SDS)或Na2SiO3作为表面活性剂,用四甲基氢氧化铵(tetramethylammoniumhydroxide,TMAH)/异丙醇(isopropylalcohol,IPA)作为腐蚀剂代替传统的NaOH/IPA腐蚀剂制备单晶硅绒面。研究去除硅表面的切割损伤层、溶液中的TMAH含量、腐蚀时间和温度,以及加入SDS对绒面的影响。结果表明制绒前对硅片的清洗和去损伤层不利于高效率制绒;硅片在含有2%(质量分数,下同)TMAH/5%IPA的腐蚀液,80℃恒温腐蚀10min即可制备均匀的具有金字塔结构的减反射绒面;腐蚀液中加入硅酸钠和SDS可以减小金字塔尺寸,降低表面反射率,提高绒面的质量。 %U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=40579