%0 Journal Article
%T 四甲基氢氧化铵应用于单晶硅高效制绒
%A 吴文娟
%A 张松
%A 张立元
%A 覃榆森
%A 季静佳
%A 顾晓峰
%A 李果华
%J 硅酸盐学报
%D 2011
%X 以十二烷基硫酸钠(sodiumdodecylsulfate，SDS)或Na2SiO3作为表面活性剂，用四甲基氢氧化铵(tetramethylammoniumhydroxide，TMAH)/异丙醇(isopropylalcohol，IPA)作为腐蚀剂代替传统的NaOH/IPA腐蚀剂制备单晶硅绒面。研究去除硅表面的切割损伤层、溶液中的TMAH含量、腐蚀时间和温度，以及加入SDS对绒面的影响。结果表明制绒前对硅片的清洗和去损伤层不利于高效率制绒；硅片在含有2%(质量分数，下同)TMAH/5%IPA的腐蚀液，80℃恒温腐蚀10min即可制备均匀的具有金字塔结构的减反射绒面；腐蚀液中加入硅酸钠和SDS可以减小金字塔尺寸，降低表面反射率，提高绒面的质量。
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=40579