%0 Journal Article
%T 超声喷雾热分解法制备硅薄膜太阳电池用ZnO:In透明导电膜
%A 焦宝臣
%A 张晓丹
%A 樊正海
%A 魏长春
%A 孙建
%A 赵颖
%J 硅酸盐学报
%D 2011
%X 采用超声喷雾热分解法，在Eagle2000衬底上制备ZnO薄膜。通过Hall测试、X射线衍射、扫描电子显微镜和透过率测试研究不同In掺量对ZnO薄膜电学、结构、表面形貌和光学特性的影响。结果表明当In摩尔掺量(In与ZnO的摩尔比)为1.5%时，获得的薄膜具有较低的电阻率(2.48×10–3Ω×cm)；所有In掺杂ZnO薄膜的透过率均达到80%；将ZnOIn薄膜作为前电极应用于μc-SiH薄膜太阳电池，可以获得5.01%的转换效率。
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=47330