%0 Journal Article
%T 热处理对AlN 陶瓷的热导率及介电性能的影响
%A 何秀兰
%A 施磊
%A 巩庆东
%A 郭英奎
%A 叶枫
%J 硅酸盐学报
%D 2015
%R 10.14062/j.issn.0454-5648.2015.09.02
%X 采用放电等离子烧结技术制备AlN陶瓷，并利用真空无压烧结方法进行热处理。研究了不同烧结助剂在高温热处理过程中对AlN陶瓷的物相组成、显微结构、导热性能及介电性能的影响。结果表明，AlN陶瓷经过热处理后，AlN晶粒进一步发育长大，尽可能实现面接触，材料中的晶间相分布更加合理。与只引入单一稀土氧化物为烧结助剂的AlN陶瓷相比，引入复合烧结助剂稀土氧化物及氟化钙(CaF2)的AlN陶瓷经过热处理后，在有效除氧及生成具有挥发性晶间相双重效果作用下，材料热导率及介电损耗改善效果明显。
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=48839