%0 Journal Article
%T 沉积偏压对脉冲激光沉积CNx薄膜结构和性能的影响
%A 杨芳儿
%A 陈占领
%A 郑晓华
%A 宋建强
%A 沈涛
%A 董朝晖
%J 硅酸盐学报
%D 2013
%U http://www.jccsoc.com/Magazine/Show.aspx?ID=47998