%0 Journal Article
%T VO2薄膜相变及其温度滞后
%A 胡再勇
%A 徐楚韶
%A 杨绍利
%A 陈光碧
%J 过程工程学报
%D 2002
%X 以攀钢产V2O5为原料，采用无机胶体法制备电阻突变VO2薄膜，研究了VO2薄膜的电阻突变温度、突变数量级及其突变温度滞后.结果表明，VO2薄膜相变温度为35℃，制备方法和衬底材质对VO2薄膜的电阻突变数量级有较大影响.以普通玻璃和石英玻璃作衬底、用H2还原法，可使VO2薄膜的电阻突变达到2~3个数量级，用N2热分解法仅能达到1.5~2个数量级；普通玻璃衬底上VO2薄膜的电阻突变数量级小于石英玻璃衬底上的VO2薄膜的电阻突变数量级.VO2薄膜的电阻突变温度滞后为1~6℃，电阻突变数量级、衬底材质和制备方法对其有较大影响.
%K 无机胶体法
%K VO2
%K 薄膜
%K M-S相变
%K 温度滞后
%U http://www.jproeng.com/qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=885