%0 Journal Article
%T 扫描探针显微镜的控制技术综述
%A 彭超
%A 徐红兵
%A 张健
%J 控制理论与应用
%D 2011
%R 10.7641/j.issn.1000-8152.2011.3.CCTA100403
%X 扫描探针显微镜(SPM)具有高精度成像、纳米操纵等功能,是纳米科技、生命科学、材料科学和微电子等科学研究的重要工具.随着科学技术的发展,科学家和工程师们对科研工具SPM的性能也提出越来越高的要求.SPM控制技术作为提高SPM性能的关键技术之一,已经得到广泛的关注和研究.本文首先介绍SPM系统以及两种常用的SPM,讨论SPM扫描器(即压电驱动器)的特性及其数学模型;然后详细总结了SPM水平方向和竖直方向的控制技术,并且对扫描探针显微镜多输入多输出(SPMMIMO)控制技术进行了探讨;最后总结了SPM控制技术研究现状及其所面临的问题.
%K 扫描探针显微镜
%K 压电驱动器
%K 迟滞
%K 迭代学习控制
%K 二自由度(2DOF)控制
%U http://jcta.alljournals.ac.cn/cta_cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=CCTA100403&flag=1