%0 Journal Article
%T 硅的无烟浸蚀
%A 张树基
%A 江道昌
%A 张德卿
%A 丁武
%J 环境科学
%D 1982
%X 由于HF/HNO3稀释液(用水或醋酸),是硅浸蚀液中唯一能获得抛光表面的浸蚀液.但硝酸的存在,使得浸蚀过程伴有大量氮氧化物,恶化操作,污染环境。因此,寻求污染少的新浸蚀溶液和浸蚀工艺,具有实际意义。
%U http://www.hjkx.ac.cn/hjkx/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19820321&flag=1