%0 Journal Article
%T 基于性能评估的EWMA控制器在线优化方法
%A 陈良
%A 葛翠翠
%A 王飞龙
%J 计算机集成制造系统
%P 2857-2862
%D 2014
%R 10.13196/j.cims.2014.11.025
%X 为解决半导体制造业中小批量、多品种的生产特性和设备老化造成的控制器性能下降的问题,针对最常用的指数加权移动平均控制器,提出一种基于性能评估的在线优化方法。在性能评估过程中,以时间序列分析中定义的输出均方差作为评判基准,提出一种新的性能评价指标。通过评估EWMA控制器的性能得到控制器当前的最优参数并自动整定,同时结合移动窗口技术实现在线优化,使控制器性能始终保持在最佳状态。为验证方法的可行性和有效性,以化学机械抛光过程的在线优化问题为实例进行了仿真实验。
%K 指数加权移动平均控制器
%K 在线优化
%K 性能评估
%K 自动整定
%U http://www.cims-journal.cn/CN/abstract/abstract4889.shtml