%0 Journal Article %T 基于支持向量机的半导体生产线动态调度方法 %A 马玉敏 %A 乔非 %A 陈曦 %A 田阔 %A 伍星浩 %J 计算机集成制造系统 %P 733-739 %D 2015 %R 10.13196/j.cims.2015.03.018 %X 为了快速合理地选择调度策略,研究了一种半导体生产线动态调度策略选择方法。该方法以历史数据为基础,选取支持向量机为数据挖掘工具,采用二进制粒子群优化算法对生产属性(特征)子集进行寻优,获得基于支持向量机的动态调度策略分类模型。对于任意给定的生产状态,通过该模型,能实时地获取当前生产状态下近似最优的调度策略。在调度策略评价中,选用了基于功效函数与熵权法的多目标评价方法,以扩展该方法的应用范围。在某实际硅片生产线上验证了所提动态调度方法的有效性。 %K 动态调度 %K 特征选择 %K 二进制粒子群优化算法 %K 支持向量机 %U http://www.cims-journal.cn/CN/abstract/abstract5081.shtml